錐度中走絲，傳感器的靈敏度可以通過增加可動(dòng)極板的面積和減小極板間距來增加，動(dòng)態(tài)范圍可以通過減小力敏薄膜的面積來提高。增加壓敏薄膜的另外一個(gè)好處是可動(dòng)極板無需暴露在外界環(huán)境中來獲取壓力變化，電容結(jié)構(gòu)可以完全密閉封裝并且與力敏薄膜電隔離。

錐度中走絲，工藝方面，也是采用淀積多晶硅來形成力敏薄膜(厚度在1.0～1.5 μm之間）和平行板電容式器極板（厚度在2～3.5 μm之間），淀積氧化層作為犧牲層形成空腔。傳感器的靈敏度很高，在小于1 000 Pa的范圍內(nèi)靈敏度仍有10 aF/Pa。

錐度中走絲，電容測(cè)量電路優(yōu)化，隨著測(cè)試技術(shù)的發(fā)展，國內(nèi)外的科研工作者在微小電容測(cè)量電路的設(shè)計(jì)方面已經(jīng)取得了很大進(jìn)步，提出了許多新的測(cè)量方法及電路結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于不同的微小電容讀取場(chǎng)合。但大部分測(cè)量方法的電路精度和集成化程度比較低，還不能很好地達(dá)到在實(shí)際應(yīng)用方面的要求。