高端中走絲，如Vaisala公司的BAROCAP系列產(chǎn)品是單晶硅基電容式壓力傳感器，能夠測(cè)量500～1 100 hPa（50～110 kPa）范圍內(nèi)的絕對(duì)大氣壓力,在工業(yè)應(yīng)用測(cè)量范圍甚至可以更小，低至50 hPa（5 kPa）。

高端中走絲，BAROCAP傳感器的技術(shù)已經(jīng)很成熟，產(chǎn)品擁有較低的遲滯性、優(yōu)異的測(cè)量精度和長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性，在各行各業(yè)都得到了廣泛應(yīng)用，而且還能與其他類型傳感器集于一體，達(dá)到壓力、濕度、溫度的同時(shí)測(cè)量。

高端中走絲，自1989年開(kāi)始，日本富士電機(jī)公司已經(jīng)將硅電容式壓力傳感器商品化，其中的FCX-AIII系列絕對(duì)壓力變送器最小的測(cè)量范圍僅為0～16 kPa。與國(guó)外相比，我國(guó)的研究基本處于空白狀態(tài)，只能依賴于進(jìn)口產(chǎn)品。

高端中走絲，針對(duì)MEMS電容式壓力傳感器在小量程壓力測(cè)量時(shí)存在的問(wèn)題與挑戰(zhàn)，各國(guó)都在尋找有效可行的解決辦法，努力提升傳感器的性能以期實(shí)現(xiàn)更靈敏、更準(zhǔn)確的小量程壓力測(cè)量。