新款中走絲，這4個(gè)設(shè)計(jì)參數(shù)之間不是彼此孤立的，而是相互聯(lián)系相互影響。單純利用改進(jìn)傳感器結(jié)構(gòu)來(lái)提高小量程傳感器的輸出電容是有限的。如果電路靈敏度不高,則小電容信號(hào)很有可能湮沒(méi)在噪聲信號(hào)中。因此,對(duì)測(cè)量電路的優(yōu)化也是實(shí)現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程測(cè)壓必不可少的一步。

新款中走絲，大而薄的極板不僅使傳感器的初始電容C0增大，而且使可動(dòng)極板在受到相同壓力時(shí)產(chǎn)生更大的形變，從而使傳感器的電容輸出值增大。但又大又薄的極板會(huì)導(dǎo)致器件的線性性能惡化，同時(shí)與MEMS微型化的設(shè)計(jì)理念相違背。而且，太薄的極板太脆易碎。

新款中走絲，極板間距的減小也可以顯著提高C0。但當(dāng)極板間距很小時(shí)，傳感器的動(dòng)態(tài)范圍不僅過(guò)窄，而且空腔內(nèi)任何微量氣體的存在都會(huì)影響傳感器性能，因此傳感器空腔的真空度必須非常高。